(1974) Лапшинский В. Байка дипломника о том, как, ему помогла смекалка мифиста

[VAL]

(1974) Помогла смекалка мифиста (байка дипломника)
Автор: Лапшинский В.А.

Источники:
-

После успешного выполнения в 1974 г. учебно-исследовательской работы или УИРа под руководством профессора О.Р. Мочалкиной я приобрел навыки технолога. Т.е. смог на технологическом оборудовании, которое имелось на родной кафедре микроэлектроники МИФИ изготовить и исследовать интегральные образцы фототранзисторов. В те времена такие навыки очень ценились. Во всяком случае я получил предложение прийти на преддипломную практику сразу в три научные группы кафедры, которые возглавляли доценты Л.Н. Патрикеев, И.И. Шагурин, и, конечно, меня пригласила Ольга Романовна. В общем было из чего выбирать. И я выбрал. Это была научная группа Шагурина, в которой проводились исследования и разработки в области схемотехники больших интегральных схем (БИС) на модных тогда биполярных транзисторах. Это были БИСы микропроцессоров и памяти.

Задача, которую нужно было решить, заключалась в изготовлении исследовании образцов элементов памяти на базе биполярных транзисторов «наоборот». Была тогда уже изобретена сверхмодная и многообещающая инжекционная логика. В ней использовалось инверсное включение биполярных транзисторов. Важная технологическая особенностью таких транзисторов «наоборот» - тонкая база. Или тонкий полупроводниковый слой с толщиной не более 100 нанометров. В этом случае можно было получить усиление больше единицы (в обычном транзисторе усиление составляет десятки и сотни раз). И тогда должен был получиться работоспособный элемент памяти. Это показывали теоретические прикидки.

Что ж, все нужное в технологической лаборатории было. Я, полный энтузиазма и надежд, приступил к работе. Окислял, травил (нет, не анекдоты) и «допировал» (т.е. выполнял диффузию примесей) кремниевые пластины. Причем делал в течении нескольких месяцев, точнее практически всю весну и лето. И все это для того, чтобы в итоге прийти убедиться и к выводу, что «поймать» 100 нм я не могу и не смогу. Ловить можно лишь микроны… Чем и занимались (и вполне удачно!) другие разработчики-технологи кафедры.

Череда неудачных технологических экспериментов закончилась тем, что И.И. Шагурин послал меня в командировку на Запорожский завод полупроводниковых приборов, с которым группа БИС памяти тесно сотрудничала. Таким образом, с комплектом необходимых шаблонов я оказался у проходного завода. Пока оформлялись документы для прохода на территорию я мог наблюдать все те строгости, которые сопутствуют посещению режимного предприятия. И, конечно, понял, что вынести контейнер с изготовленными на заводе мне образцами будет весьма непросто. Охрана работает! Это подтвердили и сотрудники КБ завода, с которыми мне пришлось контачить. И как-то неопределенно заметили: «Подумаем, что можно сделать…».

[VAL]

На следующее утро я пошел на завод с неким набором командировочных причиндалов (зубная щетка, бритвенный прибор, мыльце и т.д.) в кармане своей куртки. Несессер по своим габаритам примерно соответствовал контейнеру для образцов и, конечно, оттопыривал карман. Бдительные вахтеры на проходной спросили: «Что это у вас в кармане?». Я невозмутимо продемонстрировал содержимое кармана с комментарием: «Я приехал из Москвы». Пропустили. Потом процедура повторилась и при моем выходе с завода. И так несколько раз, пока в течении нескольких дней командировки я не «познакомился» со всеми сменами. Примелькался, однако. Короче, в свой последний выход с завода мне удалось беспрепятственно и с невинной физиономией вынести необыкновенно драгоценный для меня контейнер. Местные технологи утверждали, что образцы получились.

И это действительно было правдой. Измерения подтвердили, что инжекционные элементы памяти работают. И не только они. Ведь шаблоны позволили изготовить еще и небольшой логический блок − инжекционный дешифратор, который тоже надежно работал. Значит, можно было подумать о разработке БИС (или даже сверБИС) инжекционной памяти. Что, впоследствии, и было сделано. Этому помогла мифическая смекалка!

Так был спасен дипломный проект, который в отличие от преддипломной практики, был защищен на «отлично». По материалам диплома была написана и опубликована в солидном журнале статья. А я стал стажером-исследователем кафедры.

[VAL]

:doh: